JEL SVCR3260真空3轴圆柱坐标型机械手臂
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    真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3260特点: 


    真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运

    相比SVHR系列机械手臂,可搬运质量提升2倍,具有较好的性价比优势

    另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性,方便客户对设备进行升级改造

    机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

    手臂关节处使用磁流体密封装置

    真空密封:磁流体密封装置和波纹管

    提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用2相步进电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    可以选配2相步进电机规格

    手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式

    可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供手指


    产品型号列表


    产品型号 

    升降轴最大行程

    SVCR3260-020-PM

    20mm

    SVCR3260-040-PM

    40mm




    SVCR3260真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数


    使用环境

    真空部:温度 15℃~50℃

    驱动结构内部:洁净间内的大气环境

    温度 15℃~40℃

    手臂

    单臂

    到达距离

    520mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    20mm / 40mm

    可搬运质量

    2kg (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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