MITO DENKO_MBE设备MBE-260 上海衡鹏

致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。

产品与服务Products & Services

检测设备
半导体
科学装置
分子束外延MBE
脉冲激光沉积PLD
绝缘劣化测试
振动试验台
焊接材料
生产设备
精密陶瓷

MITO DENKO MBE-260MBE装置

MBE装置MBE-260概要：

该MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。

MBE装置MBE-260规格参数：

Configure		Spec
Processing room and vacuum exhaust system	Chamber Sharp	φ260mm Spherical SUS
	Reaching vacuum	Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)
	Ceramic bearing turbo pump	250L/s
Target revolution unit	φ20mm×6 axes Rotation / revolution motor drive (PC control)
Substrate heating unit	Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor laser substrate heating unit)
	Size of substrate	10mm
	Maximum heating temperature	Above 800℃
Common specification	Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame PLD automatic control system (PC and control software)